太陽電池用シリコン切削屑の再資源化について

隠岐　貴史、倉本　英哲、柳沢　平(*1)、木下　潔(*2)、笹木　正嗣(*2)
　　　　　　　　　　

　太陽電池に用いるシリコンウェハを切り出す際に多量に発生する切削屑には、シリコンのみでなく水、切削材としての炭化珪素の微粒子等の混合物を含んでいる。これらを分離することは困難であり、現在その多くは廃棄処分されている。そこで、本研究は切削屑中のシリコンと炭化珪素にアーク放電を利用した再資源化方法を検討したところ、切削屑より純度98%以上のシリコンを再生することができた。

(*1) 広島大学名誉教授　　(*2)株式会社木下製作所