広島市工業技術センター

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イオンミリング装置

加工機器 詳細

 工業技術センターに設置しております機器の一部をご紹介します。  一部の機器については一般に開放しています。依頼試験などについては別途お問い合わせください。  希望される試験機器以外の方法での評価が実施できる場合や、他の公設試験場が保有する機器のご紹介ができる場合もございますので、詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

機器名 イオンミリング装置
分類 加工機器
概要

走査電子顕微鏡等での表面観察や表面分析、及び超微小硬さ試験機用試料の前処理を行う装置です。アルゴンビームを使用して加工を行うため様々な材料を加工でき、また、細かな傷や歪みのない試験片を作成することができます。

型式

ライカマイクロシステムズ(株) EM TIC 3X

仕様

ミリング方法:断面および平面
ミリング範囲(平面):φ25mm以内
加工温度(断面):-150℃~常温

設置年度 H27
設備使用料

設備使用料:3,130円/時間
(本市のイオン源を使用しないとき 2,800円/時間
 本市の液化窒素を使用しないとき 2,310円/時間
 本市のイオン源及び液化窒素を使用しないとき 1,960円/時間)

写真
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備考

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